日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養

日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養

愛發科真空泵NRL180A特點：

低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵

體內部的腐蝕程度。

隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。

適用于行業：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等），排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐

蝕后轉數慢，影響到生產效率，需要專業的廠家維修，東莞比其爾真空承接愛發科

NRL180A干式螺桿真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業

的安裝方式完工。

愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。

選擇比其爾的優勢---進口真空泵專業維修廠家：擁有10年以上各類進口真空泵維修經驗

及專業治具。*真空泵維修配件，提供6個月延長質保服務，終身技術支持。

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