半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽

命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了可靠性和性能。

iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供

了高可靠性。

功能和優勢:

優化了設施消耗。

無需預防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降

低了總體占地面積。

技術參數：

極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr  / 1 Pa

進氣口連接：ISO63

出口連接：NW40

重量：244 kg

極限功率輸入：3.1 kW

電機額定功率：5.0 kW

1、確認問題（如有需要，會在24小時內派出專業技術人員趕赴現場確認真空泵故障）

2、故障原因（比其爾確認故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙兩方簽定協議后，甲方

安排人員上門提泵，針對珠三角地區客戶）

3、真空泵拆開報價（為了讓客戶更清晰的知道維修費用，比其爾會給出詳細的維修清單及費用）

4、確認維修（客戶同意維修費用后開始維修，維修配件為原裝正品，維修后所換配件全部還客

戶）

5、試機確認（確保維修過后達到的真空度和穩定性能，真空度達到出廠標準）

6、送泵安裝（在試機OK后24小時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果）

7、定期回訪（比其爾承諾，維修保修服務；統一質保修6個月）

半導體愛德華干式真空泵維修IH80/IH160